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MX 152/153

OEM 集成式厚度和电阻率测量仪，适用于125 毫米至 230 毫米太阳能晶片。

MX152/153 是一种在线模块，适用于皮带传送的硅片。它可在自动化生产流程之间测量厚度、平面度（TTV），也可选择测量电阻率和 P/N 值。由测量模块、电子支架和控制计算机组成。测量值将通过以太网和 TCP/IP 传输到主机。

测量类型

厚度 平整度（TTV） 厚度 P/N 注释

特性

晶片直径 125x125 mm, 156x156 mm, 最大 230 mm
精度 ±0.5 µm
分辨率 0.1 µm
厚度范围 100–300 µm
软件 EHMaster

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