MX 601

用于 150 毫米以下半绝缘晶片的快速非接触式电阻率测量仪

MX601 可测量砷化镓或碳化硅等半绝缘材料晶片的电阻率。无需制备晶片即可快速操作，具有出色的可重复性，能最大程度地避免压电效应。MX601 的串行接口允许进行数据评估和统计，以及访问校准常数和输出类型。

测量类型

厚度

特性

晶片直径	up to 200 mm
厚度范围	350–650 µm
软件	EHMaster
传感器区域直径	10 mm
测量时间	max. 4 sec.
重复性	± 1%

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