MX 204-8-49-q
用于 125-156 毫米太阳能晶片的自动几何测量仪。
MX 604-ST
适用于最大 156 毫米太阳能晶片的厚度和电阻率综合测量仪。
MX604-ST 专用于鉴定太阳能晶片。适用于最大 156 毫米的方形晶片和 2 英寸至 200 毫米的圆形晶片。它结合了同时测量厚度和电阻率的传感器。完全自校准，因此温度和湿度变化可以忽略不计。集成字母数字显示屏。可独立工作，也可通过串行接口连接到 PC，从而收集单个晶片或整批晶片的多次测量数据、平均值或标准偏差。
测量类型
特性
| 晶片直径 | 2"–8" |
| 精度 | ± 1 µm |
| 厚度范围 | 60–300 µm 或 250–750 µm |
| 软件 | EHMaster |
| 测量时间 | 0.3 s |
| 传感器直径 | 20 mm |
| 有效区域 | 8 mm Ø |
| 距边缘距离 | 10 mm |
