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MX 204-48-37

MX204-48-37 既可以作为手动加载的独立工具，也可以完全集成到自动化机器人系统中

它有 37 个测量点，能以高分辨率控制厚度、弯曲度和翘曲度。还可选配晶圆应力评估功能。通过上游定心站，不同尺寸的晶片无需更换即可使用。配有功能强大的MX-NT 操作软件。

测量类型

厚度 平整度（TTV） 弯曲度 翘曲度

特性

晶片直径 100 mm, 150 mm, 200 mm
精度 ±0.5 µm
分辨率 75nm
厚度范围 400–900 µm
自动晶片⼏何测量仪 是
软件 MX-NT
经纱特性 经重力校正的

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