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MX 203-6-41-q

用于 100-156mm 太阳能晶片的快速非接触式⼏何测量仪

高产能：MX203-6-41-q 的 41 个测量点可在最多 8 秒内测量每个晶片。它可以控制厚度、弯曲度和翘曲度。通过各种中心框架灵活调整晶片尺寸。配有功能强大的MX-NT 操作软件。

测量类型

厚度 平整度（TTV） 弯曲度 翘曲度 SORI

特性

晶片直径 100 mm, 125 mm, 156 mm
精度 ±0.5 µm
分辨率 50 nm
厚度范围 160–700 µm
自动晶片⼏何测量仪 无
软件 MX-NT
经纱特性 SORI

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