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例如,在 MX 203-8-37 中,六英寸晶片在 21 处测量,八英寸晶片在 37 传感器位置测量。软件会计算出两个厚度极值,TTV(总 厚度变化)就是它们之间的差值。
\(\begin{array}{lll}\text { MinThk } & = & \text { 最小局部厚度值 } \\ \text { MaxThk } & = & \text { 最大局部厚度值 } \\ \text { TTV } & = & \text { Total thickness variation }\end{array}\)
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